基本解释[电子、通信与自动控制技术]arf浸没式光刻[计算机科学技术]arf浸没式光刻词组短语短语nm arf immersion lithography equipment nmarf 浸没式光刻机Immersion ArF Lithography 浸没式ArF光刻arf immersion lithography更多词组专业释义电子、通信与自动控制技术arf浸没式光刻计算机科学技术arf浸没式光刻